潔凈室各級潔凈度標準

　　潔凈室，亦稱為凈化間，是一個嚴格控制空氣懸浮粒子濃度的環境。其設計初衷在于減少室內粒子的誘入、產生與滯留，并對溫度、濕度、壓力等參數進行精準控制。潔凈室的潔凈程度通常以單位體積空氣中某粒徑粒子的數量來衡量。

　　潔凈室的潔凈度等級根據空氣中懸浮粒子濃度來劃分，數值越小，代表凈化級別越高。具體來說，常見的潔凈度等級包括十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級及百萬級。

　　一、百級潔凈室標準：

　　潔凈度：粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數不得超過100個。

　　壓差及溫濕度：溫度控制在22℃±2℃，濕度控制在55%±5%。室內需滿布FFU(風機過濾單元)，設置高架地板，并采用MAU+FFU+DC系統維持正壓，相鄰房間壓力梯度保持在10pa左右。

　　照度：鑒于無塵潔凈室工作的精細性和密閉性，對照明有較高要求。采用局部照明與混合照明相結合的方式，確保工作面上有足夠的光線。

　　二、千級潔凈室標準：

　　潔凈度：每立方米空氣中，小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，達到國際無塵標準的A級。對于高級芯片生產，微塵數量更是被嚴格控制在每立方米1000個以內。

　　壓差及溫濕度：為防止外界污染侵入，需保持內部靜壓高于外部。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間，潔凈度級別高的空間壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間。

　　三、萬級潔凈室標準：

　　潔凈度：大于等于0.5um的塵粒數大于35000粒/m3到小于等于350000粒/m3。

　　溫度及濕度：通過干盤管系統控制，空調箱根據感測信號調節三通閥開度，進而調節盤管進水量。

　　四、十萬級潔凈室標準：

　　潔凈度：工作車間內每立方米的微?？刂圃?0萬以內，主要應用于電子、藥品及食品等行業。每小時換氣次數在15-19次，完全換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。

　　壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要>10pa。

　　溫度及濕度：溫度控制在冬季20~22℃，夏季24~26℃，濕度控制在冬季30-50%，夏季50-70%。主要生產用房照度值宜>300Lx，輔助工作室、走廊等照度值宜為200~300Lx。

　　五、三十萬級潔凈室標準：

　　潔凈度：每立方米大于或等于0.5um的塵粒最多不能超過10,500,000個;每立方米大于或等于5um的塵粒最多不能超過60,000個;每立方米浮游菌數量最多不能超過1000個。

　　壓差及溫度控制：不同潔凈級別室(區)之間，靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區)與室外，靜壓差大于或等于10PA。

　　六、百萬級潔凈室標準：

　　潔凈度測試：包括空態測試和靜態測試，確保潔凈室在不同運行狀態下均能達到預期的潔凈度。

　　送風量或風速：根據潔凈度要求，確保足夠的通風換氣量，經過初效、中效、高效(甚至超高效)過濾，確保室內空氣質量。

　　送風量或風速

　　足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣,根據不同的潔凈度要求,當潔室凈高較高時,適當增加換氣次數。其中,100萬級潔室的通風量是按高中效浄化系統考慮,其余均按高效浄化系統考慮。般要經過初效過濾、中效過濾、高效過濾三個過濾段(甚至還有超高效過濾器，四段過濾)。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆?！仫L百葉窗→初效凈化，重復這樣的一系列過程，即可達到凈化的目的。