浙江平湖電子光膜潔凈車間裝修

　　建筑面積：1680㎡

　　潔凈度級別：萬級、十萬級

　　設計參數：溫度：22 ±2℃;相對濕度：50~60%

　　項目概述：項目位于浙江平湖高科經濟園區， 建設內容包括：生產潔凈廠房裝修及配套水電氣系統、空調系統、排風系統、安全和消防系統等設施;辦公室裝修及辦公設施。本例主要介紹潔凈廠房裝修及凈化系統設計方案。

　　此項目潔凈室MAU+FFU+(RCU+FCU)系統，MAU主要控制室內的濕度和保證室內的正壓，FFU通過空氣循環過濾保證潔凈度，而RCU+FCU是來除去室內的顯熱從而保證室內的溫度。

　　(1)MAU(Make—uDAirUnit)組合式外氣空調箱是由風機、冷盤管、熱盤管(或電加熱)、空氣過濾器(初級、中級、高級三級過濾)、加濕器組成，通過初中效過濾、預熱、降焓、減濕、再熱、高效過濾后送入回風層。

　　(2)FFU(FanFiherUnit)是模數化的小型風機過濾單元，安裝在頂棚框架上，空氣由FFU的風機加壓后經HEPA或ULPA過濾送入室內，如此循環，其換氣次數直接決定室內潔凈度的不同。FFU的技術性能取決于風機和HEPA或ULPA的質量。FFU的風機均采用外轉子電機以減小高度，一般配有電子式過載保護開關、故障指示燈，故障輸出節點，有傳統的低、中、高三檔交流控制，目前直流變頻控制亦越來越應用在潔凈等級比較高的系統。早在上個世紀6O年代，美國新墨西哥州Sandia國家實驗室的科學家們利用HEPA過濾的方法研制成功了層流技術，其后商用FFU陸續在美國一些手術室及工業廠房得到廣泛的應用。

　　大規模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65dBA以下，這符合工業廠房的標準。其次隨著自動控制的發展，監測和調節各個角落的靜壓也變得容易起來。最后電機的壽命隨著技術的提高也得到了質的飛躍。

　　現在，隨著半導體電子技術的發展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級，而FFU系統本身也有著其獨特的優勢，主要包括以下幾點：

　?、凫`活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

　?、诳稍倮眯?。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

　?、圬搲和L。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于沽靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。

　?、芸s短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

　?、轀p少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。

　?、薰澕s空間。相比較RCU+HEPA系統，MAU+FFU+DC系統占用送風靜壓箱內較少層高，且基本不占用潔凈室內空間。而RCU不論是吊掛在天板上方還是設置在潔凈室，均占用不少空間。

　　(3)薄型空氣處理機+FCU

　　循環空調箱，全空氣系統，用于除去室內空氣的顯熱。

　　在此方案中相比較有以下幾條有點：

　?、凫`活性大，滿布率高。對于Ic工廠而言潔凈空調系統的靈活性是非常重要的，其隨著市場產品更新換代快而帶來的變更會很多的。若果車間內潔凈度隨工藝變化而需做局部區域性調整時，可通過改變FFU風量或置換盲板來改變局部區域的潔凈度。檔密集不只是，漫步率可達85.5%。

　?、贔FU上部頂棚為負壓，可起負壓密封的作用。頂棚內呈負壓，潔凈室內空氣壓力大于頂棚內的空間。如果FFU與支架密封處有縫隙，則由于頂棚內為負壓使得未經高效過濾器的空氣不能進入室內，對保證潔凈室的潔凈度有力。

　?、茚槍Υ朔桨附ㄖY構，二樓層高限制，技術夾層空間有限，空調設備位置安裝靈活，可根據實際情況規避梁柱 貼頂吊裝。